南方科技大学手套箱蒸镀一体机

项目内容：基本信息：申购单主题：手套箱蒸镀一体机申购单类型：竞价类设备类别：仪器仪表使用币种：人民币竞价开始时间：2017-06-2119:41竞价结束时间：2017-06-2817:30申购备注：质保期：2年送货时间：不晚于2017-10-16付款方式：合同生效并收到相应发票后支付合同总额的30%作为进度款；设备到达指定安装现场且安装，调试验收合格并提供全额发票后支付合同总额的65%；余款5%待质保期满且无质量问题并经学校确认后支付。质保期，付款方式，送货时间为最低要求，不满足以上要求的视为无效投标。供应商必须按要求填写附件中的多品牌网上竞价技术要求，并在参与竞价时上传，如不提供，视为无效投标。 申购设备详情：设备名称数量单位品牌厂商型号是否标配售后服务规格配置附件手套箱蒸镀一体机1无无是按行业标准提供服务1.蒸发室技术指标1.1蒸发室极限真空度：5×10-5pa1.2蒸发室从大气开始抽气，40分钟能达到7×10-4Pa。1.3设备总体漏率：全自动真空系统，1200lkyky分子泵 9l静音机械泵，关机停泵12小时后，真空度优于5Pa。1.4系统真空检漏漏率：≤5.0x10-10Pa.l/S1.5基片尺寸：最大100*100mm一片；或多小片；1.6蒸发可调间距：240±30mm。可加热旋转升降。1.7基片转速：0~30转/分连续可调。1.8膜厚探头4只.1.9有机蒸发源4只，金属蒸发源4组。挡板电动或气动。2.设备配置说明：2.1蒸发室真空；腔体为内尺寸约440×440×550mm，方型真空室，前后开门结构，材质为高真空专业SUS304不锈钢，内外表喷丸，电解抛光处理，可内烘烤100～150℃。真空室盖上有一个CF630刀口法兰接基片加热器及转架与基片挡板机构。真空室侧面有一个CF200刀口法兰接CF200弯管机构，连接KYKY-1200L型高性能分子泵。前门有一个带防污染挡板上观察窗组件和下观察窗组件。后门在手套箱内，可滑动开门，门上有俩套DN100观察窗，腔体周围有CF35法兰，可连接CF35气动角阀、四芯引线法兰、电阻规管、金属电离规管、蒸发源挡板等。CF16法兰1个，一个放阀。3.电控部分3.1电控柜1套。电器柜，1.8M，用于放置各种电控U箱3.2控制系统1套。控制真空系统，PLC 10寸触屏，控制前级，机械泵，样品台旋转控制。样品运行控制，蒸发源挡板，设备安全报警。3.3复合真空计1套成都正华ZDF-4型数显复合真空计。一高一低。3.4膜厚仪1套。在线测量膜厚6路。3.5有机蒸发电源1套国产电源可加热600度，一带四。3.6金属蒸发电源2套，国产，5V,200A。一带二。可切换。3.7样品架电源1套温度：常温～500℃可调，配置日本导电SR3控制仪。控温精度±1℃。PID自整定迅速可靠。3.8分子泵电源1台KYKY-1200分子泵的控制电源一套。2.9烘烤照明电源1套。用于真空室内照明，烘烤，照明灯与烘烤灯分开.由触摸屏控制。1米，1.2米，1.8标准手套箱各一台。自动控制水冷系统一套。登陆后可下载附件
发布时间：2017-06-21
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项目名称：南方科技大学手套箱蒸镀一体机
项目分类：招标公告-招标
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项目编号：无
资金来源：
投资额：0
招标预算：0
中标单位：
中标金额 ：0
中标联合单位：
省份：四川省
地市：成都市
区县：
行业分类：政府采购,信息技术
行业细分：事业单位,硬件设备
参与投标厂商：
评标办法：
网站名称：剑鱼标讯
原文链接：https://www.jianyu360.com/article/content/ABCY2Zrci5YLyg4ElV4c3U8DzNfASB3V3xxKB4FLDoNe35wAj9UCfc=.html
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